压阻式压力传感器和压电式压力传感器的原理解析

MEMS/传感技术

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描述

压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,常常作为一种自动化控制的前端元件,因此其广泛应用于各种工业自控环境,包括石油化工、造纸、水处理、电力、船舶、机床和公用设备等行业。

压力传感器的类型非常多,目前应用比较常见的包括压阻式压力传感器和压电式压力传感器两种。


 

压阻式压力传感器压阻式压力传感器的工作原理是当压敏电阻受压后产生电阻变化,通过放大器放大并采用标准压力标定,即可进行压力检测。压阻式压力传感器的性能主要取决于压敏元件(即压敏电阻)、放大电路,以及生产中的标定和老化工艺。

●应变片

在目前的压力传感器封装工艺中,通常可以将压阻式敏感芯体做得体积小巧、灵敏度高,而且稳定性好,并将压敏电阻以惠司通电桥形式与应变材料(通常为不锈钢)结合在一起,这样一来,就能确保压阻式压力传感器过载能力强和抗冲击压力强。

该类传感器适合测量高量程范围的压力变化,尤其在1Mpa以上时,线性很好,精度也很高,并适合测量与应变材料兼容的各类介质。

●陶瓷压阻

在结构上,该类传感器将压敏电阻以惠司通电桥形式与陶瓷烧结在一起。其过载能力较应变片类低一些,抗冲击压力较差,但灵敏度较高,适合测量50Kpa以上的高量程范围,而且耐腐蚀,温度范围也很宽。

抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号,可以和应变式传感器相兼容。
来源;互联网

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