新型Takano颗粒检测系统的介绍

本文介绍两款新型高性能Takano颗粒检测系统，用于检测≤200mm和≤300mm的无图案晶圆片。ClassOne Equipment公司最近被选为Takano公司在北美、欧洲和以色列的独家检测工具代表。这一消息是由ClassOne公司的首席执行官Byron Exarcos和美国Takano公司的总经理Roy Izai宣布的。

第一套新系统是 Takano WM-7SR，它设计用于对50 mm至 200 mm无图案硅晶圆进行颗粒检测，具有开放式晶圆卡盒处理配置。 第二个新系统是 Takano WM-10，它可以检测 150mm到 300mm的裸晶圆，可以配置单和双开放式晶圆卡盒，或单和双 FOUP 处理器。

“这是两个非常重要的新工具，”Exarcos说。“因为20多年来，该行业不得不使用老旧过时的传统设备来检测≤200mm和≤300mm的晶圆。而今天，这些旧系统已经很难找到，也很难维护。幸运的是，有了这些新的Takano工具，我们可以为客户提供全新的颗粒检测系统，具有领先的规格和性能--而且价格非常有吸引力，仅比翻新的传统系统略高！”

“同样重要的是，这些工具有成熟的跟踪记录，”Izai说。“因为尽管WM-7和WM-10系列现在刚刚被引入北美和欧洲，但在日本和亚洲，已经有数百个这样的工具在日常使用。”

Takano公司最先进的设计和技术最终转化为行业领先的能力。WM-7SR能够提供0.079μm的缺陷灵敏度，而WM-10能提供0.048μm的缺陷灵敏度。新的Takano检测系统具有多种显示输出，包括地图覆叠层、雾度测量、XY坐标等。设备的性能和产量通过先进的组件得到加强，如高功率英特尔i7处理器、Windows 10操作系统、3年长寿命的激光二极管源等。

所有Takano检测系统都有一年的保修期；并通过ClassOneEquipment公司长期提供OEM部件和支持。

审核编辑：符乾江