半导体参数分析仪介绍、硬件规格、应用

半导体参数分析仪(器件分析仪)是一种集多种测量和分析功能于一体的测试仪器，可准确执行电流-电压(IV)和电容测量(CV(电容-电压)、C - f(电容-频率)以及 C – t(电容-时间)测量)，并快速、轻松地对测量结果进行分析，完成半导体参数测试。半导体参数测试是确定半导体器件特征及其制造过程的一项基础测量。在参数测试中，通常需要进行 IV 测量，包括分辨率低至 fA(毫微微安培)的小电流测量和高达 1 MHz 的CV 测量，并对主要特征/参数进行分析。虽然半导体参数分析仪的设计初衷是进行半导体评测，但因其优越的性能、强大的功能以及出色的易操作性，现已在各种材料、器件和电子器件的 IV 和 CV 表征中得到广泛应用。

半导体参数分析仪可为表征任务提供更高的性能、更强的可用性以及更高的效率。参数分析仪集多种测量资源于一身，可轻松进行 IV 和 CV 测量，无需汇集或集成多种仪器，例如电源、电压表、电流表、LCR 表、开关矩阵等。参数分析仪的主要测量元器件是电源/测量单元(SMU)。SMU 是一种将电压/电流源功能和电压/电流表功能结合于单一模块中的测量模块。由于该参数分析仪将电源和测量电路紧密集成，所以相比使用多种独立仪器进行相同测量来说，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的测量误差。

此外，参数分析仪还具有分析功能，使您无需借助外部 PC 便可快速地交互检查和分析显示屏上的测量结果。由于半导体参数分析仪具有多种功能，因此适用于从探索分析到自动测试的各种测量环境。

9812DX硬件规格

宽量程： 最大器件端电压和电流 : 200V, 200mA

高精度： 最高 DC 电流精度 : 10pA、 系统噪声电流精度 : <10-27A2 /Hz

测试速度：典型 1/f 噪声测试速度可达 10 秒 /bias

抗阻范围：阻抗匹配范围 : 10Ω-10 MΩ Gate/Base

电阻多达 16 个选择

Drain/Collector 电阻多达 15 个选择

系统参数： 电压放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/Hz(@5kHz)

电流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ Hz(@5kHz)

宽带电流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@5KHz)

高精度电流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)

可编程偏置滤波器 、ESD 保护

内置 16 位 DSA

支持多台并行测试

FS-Pro应用范围：

被半导体工业界和众多知名大学及科研机构釆用作为标准测试仪器

集成功能：

高速高精度 IV/CV测试能力

脉冲式 IV测试能力

任意线性波形发生与测量能力

高速时域信号釆集能力

与 9812 对准的低频噪声测试能力

使用方式：

通过内置专业软件 LabExpress 的丰富功能实现测试

操作简单灵活，无需编程即可实现自由的波形发生或电压同步与跟随

系统架构：

PXI标准机箱，可扩展架构,支持通过多机箱扩展SMU卡数量

支持并行测试：

内置功能强大的测试算法

支持多通道并行测试

成倍提升测试效率

以上由安泰测试整理发布。

审核编辑 黄昊宇