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今天标准机床所能达到的精度和重复精度已经接近过去只有CMM坐标测量机才能达到的水平。这一功能可以使机床本身在关键的加工工艺阶段，用探针对工件进行自动检测。一旦机床安装了测量仪器，测量探针就变成了操作员的CNC测量计。检测程序可作为加工工艺中的一部分进行编程，并在各个点上自动运行，检测尺寸和位置以及提供必要的补偿。这样可免除操作人员使用千分表和塞规进行测量，并消除人为因素造成控制系统中卡具、零件和刀具偏置所引起的误差。机上检测已成为工艺的一个部分，这是一个经过改进的强大的工艺工具，可在最短的生产时间内，第一次就制造出合格的零件。
可用于自动地确定零件的位置，然后建立起一个工作坐标系统，机上检测可削减设置时间，提高主轴的利用率，降低卡具的成本和消除非生产加工通行时间。在复杂的零件加工方面，原先需要45min时间调试卡具，现应用检测装置只需45s并且全部由CNC自动操作完成。在开始加工铸件或锻件时，检测装置能确定工件的形状，可避免因空切而浪费时间，并可帮助确定最佳的刀具切入角度。工艺过程中的控制是利用检测装置对切削过程中的机床特性、尺寸和位置进行监控，同时验证每一加工工序各种特点之间的精确尺寸关系，以避免发生问题。可以对测头编程，并按程序检测各阶段的实际加工结果，然后自动实现刀具补偿，特别是在粗加工或半精加工以后。
参考检测是将零件特点与一个尺寸样板或已知位置和尺寸的基准表面进行比较，它能使CNC确定定位差距，然后产生一个偏移量来补偿这一差距。在进行关键加工前，通过对仿造样板的检测，CNC就能够针对样板已知的尺寸检查其自身的定位，然后对偏移量进行编程。如果尺寸样板安装在机床上并暴露于同样的环境条件下，那么可使用参考检测监控和补偿热膨胀系数。其所产生的结果是一个闭路循环过程，不会受到操作员影响。
每台机床在其运动过程中以及在其结构中都存在许多自身固有的小误差，因此，在CNC的编程位置与刀尖真实位置之间总是存在着一点微小的差距，即使在两者之间经过激光补偿调节至相当一致以后。可编程人造样板检测是进一步补偿机床其余误差的好方法。它可为工艺控制提供反馈，能够使定位精度接近机床重复精度的规范要求。这种闭路工艺控制可以使加工中心的加工精度达到镗铣床和其他精密机床的加工水平。
许多探针检测操作通过使用内存驻留宏指令程序完成。工作坐标的更新、刀具几何形状的改变以及零件的测量等，由CNC在成功完成探针检测周期后自动确定。这就能消除由错误信息链接或错误计算所造成的严重误差。用于加工以后的零件检验，通过探针检测可以减少脱机检验的长度和复杂性，在某些情况下甚至可以将其全部消除。由于大型昂贵的工件移动起来非常困难，而且又很费时间，所以机上检验特别有利于大型昂贵的工件。
在这里还可以采用两种方法来完成参考检测，即采用机床相关性检测法，将机上测量的数据与以前的CMM测量机数据进行比较;或采用仿造样板检测法，将机上数据与已知尺寸的可追溯性仿造样板进行比较。在进行这一比较时，CNC能够确定机床是否已真正达到规定的加工公差。根据这些结果，就能做出明智的决定，对仍然留在机床上的工件采取正确的处理方法。
激光对刀仪为验证刀具的尺寸提供了一个快速的自动化方法，特别在模具制造中，对检验长期加工后的刀具磨损，起着关键的作用。激光对刀仪是高速、高精度调刀和检测刀具断裂的有效方法，具有良好的成本效益，在工作状态下，当刀具通过激光束分度或以正常的速度旋转时，它能迅速地测量其长度和直径。随主轴速度工作的激光检测可鉴别因主轴、刀具和刀座夹持不协调和径向振动而引起的误差，这一功能是采用静态对刀系统是无法实现的。有些NC数控对刀仪可以在最高横向行程时检测断。
当刀具通过激光束运动时，系统电子装置就会检测到激光束的中断，同时向控制器发出一个输出信号。NC数控系统可以在激光束的任何地方精确地测量最小直径为0.2mm的刀具。当激光束超过50%阈值而被所检测的刀具阻断时，就会触发系统。非接触式对刀系统采用的是在加工条件下可靠的红色可见光二极管激光器。
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