EtherCAT 网络总共包括:20 个带有 EtherCAT 从站连接的伺服控制器,22 个 EtherCAT 端子站(其中含有 1000 个数字量 I/O,60 个模拟量 I/O,以及 57 个安全通道),30 个热连接组(带有 830 个数字量 I/O),41 个 PROFIBUS 主站和 21 个 CAN 主站。工厂的扩充完成以后,还会另外添加 30 个带有相同配置的热连接组。
在 EK1101 EtherCAT 耦合器中有一个 ID 开关,用于地址的分配。不仅可以在溅射室内任意位置执行操作,还可以识别阴极的类型。每个阴极类型均会分配到一个地址范围,并将被导入到 PLC 程序中,集成到所需的控制工艺。
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