低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视,它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体SF6本身的理化特性,等离子体处理SF6面临着更多的挑战,目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外已有的文献资料, 阐述了等离子体处理SF6的反应机理和其三个评价指标,从射频、微波和介质阻挡放电三种主要的处理SF6的等离子体出发论述了降解过程各个因素对降解率、能量效率以及最终降解产物的影响。同时,提出了等离子体处理SF6需要进一步解决的问题和今后的研究方向,并对其工业化进行了可行性分析。
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
全部0条评论
快来发表一下你的评论吧 !